Laboratoire de microélectronique (DICE)

Sorin Melinte

Site web: http://www.dice.ucl.ac.be/

Implication dans le Programme NANOTIC:

• Projet FEELING: Dr. Sorin MELINTE

• Projet CITE: Dr. Sorin MELINTE, Prof. Denis Flandre

• Projet TSARINE: Prof. Jean-Didier Legat

• Projet COSMOS: Prof. Jean-Didier Legat, Prof. Jean-Jacques Quisquater

• Projet DEDICCAS: Prof. Jean-Jacques Quisquater

Autres Partenaires NANOTIC

Le laboratoire DICE est composé de plus de 70 personnes, dont 8 académiques. Ses activités de recherche comportent deux grands volets :

• d’une part, les systèmes intégrés analogiques et digitaux originaux ainsi que leurs algorithmes de traitement de l’information et leurs méthodologies de conception assistée par ordinateur
• et d’autre part, les micro- et nano-technologies sur Silicium, en particulier de type Silicon-On-Insulator (SOI) Metal Oxide Semiconductor (MOS), pour la fabrication de microsystèmes (i.e. capteurs, dispositifs et circuits co-intégrés) de faible consommation, résistant aux radiations, travaillant à fréquences élevées, résistant aux hautes températures ou encore de dimension nanoscopique.

Ce volet technologique a mené à l’étude approfondie, l’optimisation du procédé de fabrication, la caractérisation, la simulation et la modélisation de microsystèmes de types variés. Un volet de recherche plus récent concerne les technologies de mise en oeuvre de matériaux organiques fonctionnels (polymères conducteurs, cristaux liquides semi-conducteurs, oligomères et macromolécules) pour la fabrication de nouveaux dispositifs électroniques.

Equipements
Le laboratoire DICE est équipé d’une ligne de fabrication complète de dispositifs sur silicium (400 m2, plus de 10 millions d’EUR d’investissement) pour l’étude de nouveaux procédés de fabrication sur Silicium et la réalisation rapide et autonome de prototypes de nouveaux dispositifs, circuits intégrés et microsystèmes, ainsi que des équipements de caractérisation des paramètres physiques et électriques des composants fabriqués, des programmes de simulation de procédés de fabrication, de composants, de conception de circuits et de systèmes.

Pour les microsystèmes, spécifiquement, le laboratoire a récemment installé un photo-aligneur de qualité sous-micronique permettant les alignements double face et tranche à tranche, un kit de wafer bonding associé, un graveur plasma ICP-RIE pour le micro-usinage profond, un banc de micro-usinage chimique au TMAH, un évaporateur de métaux et oxydes métalliques spéciaux, une machine d’amincissement et de polissage chimique de type CMP et une machine d’électro-plating pour métaux épais. Le laboratoire a également développé des compétences dans les domaines des nanotechnologies et de l’électronique moléculaire : nanolithographie électronique, dépôt des couches très minces et caractérisation des dispositifs nanoscopiques (organiques et inorganiques).

Les nombreux résultats scientifiques obtenus ont été couronnés de nombreux articles invités à deULBs conférences nationales et internationales, ainsi que par l’obtention de plusieurs prix nationaux et internationaux dont les prix FNRS - Siemens, Wernaers et SCK-CEN. Le laboratoire DICE accueille également chaque année de nombreux étudiants ingénieurs de l’UCL et de l’étranger (Erasmus-Socrates) dans le cadre de leurs mémoires de fin d’études.